报告题目：超快激光并行加工技术

主讲：匡正 博士

时间：2012年12月25日上午10:10-11:30

地点：科技楼501

摘要：近10年来，超快激光器被广泛应用于微纳制造领域。这主要是由于该激光器能制造出超短的激光脉冲（10^-12 至 10^-15秒）即将光能聚集在极小的时间尺度上，而产生极大的峰值功率（10¹²瓦特）。当超快激光脉冲作用于物质时，电子首先吸收能量发生电离，后产生等离子体，实现对材料的加工。由于极短的反应时间，热传导来不及进行，工件不会存在重铸、裂纹等热效应，其加工质量高于连续或长脉冲激光器。于是超快激光加工被称为‘冷加工’。然而，由于低下的加工效率和产量，超快激光器尚未能大量被应用于工业界。所以通过将单束光分为多束光以提高加工效率和产量的超快激光并行加工技术近来受到了广泛的重视。本讲座将介绍一项利用全息衍射通过空间光调制器实现超快激光并行加工的技术。通过该技术，单束光成功地衍射出可以自由控制空间位置的多光束（可同时产生30束衍射光）来进行对不同材料的微加工。并且，我们将振镜快速扫描技术和衍射多光束的全息控制技术相结合，使该并行加工技术更灵活更完善。