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扫描电镜-X 射线能谱仪虚拟仿真

发布时间:2018-06-19 点击数:

实验介绍

    扫描电镜-X  射线能谱仪虚拟仿真

    1. 仿真操作主界面

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  •           2. 工作原理

           3. 仿真操作

    1.制样  点击实验操作功能按钮选择器具, 弹出选择器具窗口

    器具界面上选择镊子药匙滴管洗耳球表面皿超声波清洗机, 点击实验操作功能按钮制样,弹出制样窗口:

     

     

    1)试样、铜片处理:

    试样下拉菜单中选择试样;在试剂下拉菜单中选择无水乙醇或者丙酮或者;在离心管号中选择“1”;点击装入按钮。

    试样下拉菜单中选择铜片;在试剂下拉菜单中选择无水乙醇或者丙酮或者;在离心管号中选择“1”;点击装入按钮。点击超声按钮:

    待时间进度条完全变蓝时,点击取出离心管按钮。

    2)粘贴、固定试样:

    点击样品托按钮;点击粘导电胶按钮,将导电胶粘到样品拖上;点击粘贴试样按钮,将载有试样的铜片粘到导电胶上;点击吹扫按钮,用洗耳球吹去表面灰尘及铜片上不牢固的样品。点击固定至样品座按钮,,将样品托固定到样品座上。

    2.开机  

    1)确认稳压电源 点击场景中的稳压仪,弹出稳压电源窗口点击确定按钮,若稳压电源处于打开状态,关闭该窗口。稳压电源处于关闭状态,则点击开关按钮 ,打到“ON”状态,

    关闭该窗口。  

    2)确认 MAIN SW VAC SW 处于开的状态:点击场景中的开机部分,弹出开机窗口:点击确定按钮,确定 MAIN SWVAC SW 处于打开状态。若 MAIN SW 处于关的状态,则应按原始开机的过程打开 MAIN SWVAC SW

    3)确认氮气处于打开状态

    4) 打开循环水 点击循环水绿色按钮,弹出开循环水窗口:点击循环水开关按钮 ,将循环水打开,关闭关窗口。

    5)开操作台电源 点击场景中的操作台部分,弹出操作台电源窗口,将操作台电源、SEM 电脑电源、EDS 电脑电源打开。

    6)运行 SEM  工作站软件,弹出 SEM 工作站窗口

    3.加载样品

    点击场景中的样品交换室,弹出加卸载试样窗口  

    4.SEM工作站软件

    1)选择合适的样品座 点击工作站中的“Spec Suface Offset”,弹出如下窗口

     

     

     

    选择合适的样品座,点击OK

    2) 条件设置(具体条件配置以教师教案为准)

    5.运行 EDS工作站软件,出现工作站界面,点击导航器中的项目,如下所示

    项目名称栏添加项目名称;点击样品,填写样品名称;

    电镜设置:SEM 工作站中将加速电压设置为 20KV 左右,WD 设为 8mm,调整放大倍率、调节发射电流,使采集图谱界面的死时间小于 35%、采集速率在 1-3kcps 之间。改变电镜条件后,若图像不清晰,应进行调节直至得到清晰图像。

    (其他具体条件配置以实际要求操作为准)  

    6 、卸载试样

    将放大倍率还原为最低倍率;点击真空系统控制台上的“GUN”按钮,该按钮变亮。点击操作主界面中的“OFF”按钮,关闭加速电压;点击工作站中的“Home Position”;或者点击交换室操作台中的“EXGH POSN”按钮,使样品台移动到交换位置。

    点击卸载试样按钮,则交换杆转向水平方向,并向前轻推样品杆,当“HLDR”灯亮起时完全拉出样品杆,垂直立起放置,样品座处于样品交换室中。点击工作站中的“VENT”,在弹出的提示窗口点击“OK”;或者点击交换室操作台中的按钮,闪烁停止,则样品交换室破真空完毕。点击 中的取出试样按钮,则打开交换室的门,将样品台取出,然后锁紧交换室的门。点击工作站中的“EAVC”,在弹出的对话框中点击“OK”;或者点击交换室操作台中的“EAVC”按钮,该按钮开始闪烁,待闪烁停止,则交换室抽真空完毕。

    7 、关机

    1)关闭 INCA 软件。

    2)关闭 JSM-7500F 扫描电镜软件。

    3)关闭 EDS SEM 电脑电源。

    4)关闭操作台 OPE SW 的电源。

    5)关闭循环水开关。

    6)注意:稳压电源保持开,总电源保持开,真空电源保持开,输出氮气压力保持在

    0.4MPa 左右。