实验介绍
扫描电镜-X 射线能谱仪虚拟仿真
1. 仿真操作主界面

2. 工作原理

3. 仿真操作
1.制样 点击实验操作功能按钮“ 选择器具”, 弹出选择器具窗口
在“器具”界面上选择“镊子”、“药匙”、“滴管”、“洗耳球”、“表面皿”、“超声波清洗机”, 点击实验操作功能按钮“ 制样”,弹出制样窗口:

1)试样、铜片处理:
在“试样”下拉菜单中选择“试样”;在“试剂”下拉菜单中选择“无水乙醇”或者“丙酮”或者“水”;在“离心管号”中选择“1”;点击“装入”按钮。
在“试样”下拉菜单中选择“铜片”;在“试剂”下拉菜单中选择“无水乙醇”或者“丙酮”或者“水”;在“离心管号”中选择“1”;点击“装入”按钮。点击“超声”按钮:

待时间进度条完全变蓝时,点击“取出离心管”按钮。
2)粘贴、固定试样:
点击“样品托”按钮;点击“粘导电胶”按钮,将导电胶粘到样品拖上;点击“粘贴试样”按钮,将载有试样的铜片粘到导电胶上;点击“吹扫”按钮,用洗耳球吹去表面灰尘及铜片上不牢固的样品。点击“固定至样品座”按钮,,将样品托固定到样品座上。
2.开机
1)确认稳压电源 点击场景中的稳压仪,弹出稳压电源窗口点击“确定”按钮,若稳压电源处于打开状态,关闭该窗口。稳压电源处于关闭状态,则点击开关按钮 ,打到“ON”状态,
关闭该窗口。
2)确认 MAIN SW 、VAC SW 处于开的状态:点击场景中的“开机”部分,弹出开机窗口:点击“确定”按钮,确定 MAIN SW、VAC SW 处于打开状态。若 MAIN SW 处于关的状态,则应按原始开机的过程打开 MAIN SW、VAC SW。
3)确认氮气处于打开状态
4) 打开循环水 点击“循环水”绿色按钮,弹出开循环水窗口:点击循环水开关按钮 ,将循环水打开,关闭关窗口。
5)开操作台电源 点击场景中的操作台部分,弹出操作台电源窗口,将操作台电源、SEM 电脑电源、EDS 电脑电源打开。
6)运行 SEM 工作站软件,弹出 SEM 工作站窗口
3.加载样品
点击场景中的样品交换室,弹出加卸载试样窗口
4.SEM工作站软件
1)选择合适的样品座 点击工作站中的“Spec Suface Offset”,弹出如下窗口

选择合适的样品座,点击OK。
2) 条件设置(具体条件配置以教师教案为准)
5.运行 EDS工作站软件,出现工作站界面,点击导航器中的“项目”,如下所示

“项目名称”栏添加项目名称;点击“样品”,填写样品名称;
电镜设置:在 SEM 工作站中将加速电压设置为 20KV 左右,WD 设为 8mm,调整放大倍率、调节发射电流,使采集图谱界面的死时间小于 35%、采集速率在 1-3kcps 之间。改变电镜条件后,若图像不清晰,应进行调节直至得到清晰图像。
(其他具体条件配置以实际要求操作为准)
6 、卸载试样
将放大倍率还原为最低倍率;点击真空系统控制台上的“GUN”按钮,该按钮变亮。点击操作主界面中的“OFF”按钮,关闭加速电压;点击工作站中的“Home Position”;或者点击交换室操作台中的“EXGH POSN”按钮,使样品台移动到交换位置。
点击“卸载试样按钮”,则交换杆转向水平方向,并向前轻推样品杆,当“HLDR”灯亮起时完全拉出样品杆,垂直立起放置,样品座处于样品交换室中。点击工作站中的“VENT”,在弹出的提示窗口点击“OK”;或者点击交换室操作台中的按钮,闪烁停止,则样品交换室破真空完毕。点击 中的“取出试样按钮”,则打开交换室的门,将样品台取出,然后锁紧交换室的门。点击工作站中的“EAVC”,在弹出的对话框中点击“OK”;或者点击交换室操作台中的“EAVC”按钮,该按钮开始闪烁,待闪烁停止,则交换室抽真空完毕。
7 、关机
1)关闭 INCA 软件。
2)关闭 JSM-7500F 扫描电镜软件。
3)关闭 EDS 和 SEM 电脑电源。
4)关闭操作台 OPE SW 的电源。
5)关闭循环水开关。
6)注意:稳压电源保持开,总电源保持开,真空电源保持开,输出氮气压力保持在
0.4MPa 左右。