实验介绍
扫描电镜-X 射线能谱仪虚拟仿真
1. 仿真操作主界面
2. 工作原理
3. 仿真操作
1.制样 点击实验操作功能按钮“ 选择器具”， 弹出选择器具窗口
在“器具”界面上选择“镊子”、“药匙”、“滴管”、“洗耳球”、“表面皿”、“超声波清洗机”， 点击实验操作功能按钮“ 制样”，弹出制样窗口：
1）试样、铜片处理：
在“试样”下拉菜单中选择“试样”；在“试剂”下拉菜单中选择“无水乙醇”或者“丙酮”或者“水”；在“离心管号”中选择“1”；点击“装入”按钮。
在“试样”下拉菜单中选择“铜片”；在“试剂”下拉菜单中选择“无水乙醇”或者“丙酮”或者“水”；在“离心管号”中选择“1”；点击“装入”按钮。点击“超声”按钮：
待时间进度条完全变蓝时，点击“取出离心管”按钮。
2）粘贴、固定试样：
点击“样品托”按钮；点击“粘导电胶”按钮，将导电胶粘到样品拖上；点击“粘贴试样”按钮，将载有试样的铜片粘到导电胶上；点击“吹扫”按钮，用洗耳球吹去表面灰尘及铜片上不牢固的样品。点击“固定至样品座”按钮，，将样品托固定到样品座上。
2.开机
1）确认稳压电源 点击场景中的稳压仪，弹出稳压电源窗口点击“确定”按钮，若稳压电源处于打开状态，关闭该窗口。稳压电源处于关闭状态，则点击开关按钮 ，打到“ON”状态，
关闭该窗口。
2）确认 MAIN SW 、VAC SW 处于开的状态：点击场景中的“开机”部分，弹出开机窗口：点击“确定”按钮，确定 MAIN SW、VAC SW 处于打开状态。若 MAIN SW 处于关的状态，则应按原始开机的过程打开 MAIN SW、VAC SW。
3）确认氮气处于打开状态
4） 打开循环水 点击“循环水”绿色按钮，弹出开循环水窗口：点击循环水开关按钮 ，将循环水打开，关闭关窗口。
５）开操作台电源 点击场景中的操作台部分，弹出操作台电源窗口，将操作台电源、SEM 电脑电源、EDS 电脑电源打开。
６）运行 SEM 工作站软件，弹出 SEM 工作站窗口
3．加载样品
点击场景中的样品交换室，弹出加卸载试样窗口
4.SEM工作站软件
1）选择合适的样品座 点击工作站中的“Spec Suface Offset”，弹出如下窗口
选择合适的样品座，点击OK。
2） 条件设置（具体条件配置以教师教案为准）
5.运行 EDS工作站软件,出现工作站界面,点击导航器中的“项目”，如下所示
“项目名称”栏添加项目名称；点击“样品”，填写样品名称；
电镜设置:在 SEM 工作站中将加速电压设置为 20KV 左右，WD 设为 8mm，调整放大倍率、调节发射电流，使采集图谱界面的死时间小于 35%、采集速率在 1-3kcps 之间。改变电镜条件后，若图像不清晰，应进行调节直至得到清晰图像。
（其他具体条件配置以实际要求操作为准）
6 、卸载试样
将放大倍率还原为最低倍率；点击真空系统控制台上的“GUN”按钮，该按钮变亮。点击操作主界面中的“OFF”按钮，关闭加速电压；点击工作站中的“Home Position”；或者点击交换室操作台中的“EXGH POSN”按钮，使样品台移动到交换位置。
点击“卸载试样按钮”，则交换杆转向水平方向，并向前轻推样品杆，当“HLDR”灯亮起时完全拉出样品杆，垂直立起放置，样品座处于样品交换室中。点击工作站中的“VENT”，在弹出的提示窗口点击“OK”；或者点击交换室操作台中的按钮，闪烁停止，则样品交换室破真空完毕。点击 中的“取出试样按钮”，则打开交换室的门，将样品台取出，然后锁紧交换室的门。点击工作站中的“EAVC”，在弹出的对话框中点击“OK”；或者点击交换室操作台中的“EAVC”按钮，该按钮开始闪烁，待闪烁停止，则交换室抽真空完毕。
7 、关机
1）关闭 INCA 软件。
2）关闭 JSM-7500F 扫描电镜软件。
3）关闭 EDS 和 SEM 电脑电源。
4）关闭操作台 OPE SW 的电源。
5）关闭循环水开关。
6）注意：稳压电源保持开，总电源保持开，真空电源保持开，输出氮气压力保持在
0.4MPa 左右。
