1. 主要功能及应用范围：

Nano Indenter G200 是一套完整的纳米力学显微探针系统，功能包括纳米压痕、纳米划痕、摩擦磨损（mN-mN量级）及纳米力学显微镜等。整个测试流程高度自动化，数据可靠性和重复性好。

主要用于测定薄膜材料、块体材料、微纳米颗粒等材料的压入硬度和弹性模量、塑性参数、断裂参数、粘弹性、蠕变、划入变形、薄膜材料与基材的附着力、摩擦系数、磨损率、试样表面的粗糙程度等。

2. 主要部件：

中央控制器，CSM中央控制器，XP装置模块，DCM装置模块，样品载台，减震台，光学系统，压针等。

3.主要技术指标：

1)载荷范围：

XP模块最大载荷：500mN；        DCM模块载荷载荷：10mN；

加载模式 ：电磁力；              载荷分辨率 ：50nN/10nN。

2)位移能力：

位移测量方式 ：电容位移传感器；           位移分辨率<0 .01nm；

压头总位移范围; 1.5mm；                   最大压痕深度>500um。

3)样品台：

XP载台：有效使用面积：100mm×100mm；     定位精度：< 1um；

Nano vision载台：定位精度：2nm。

4)成像系统：

光学显微镜：放大倍率：250(10×)倍和1000(40×)倍

Nano vision原位扫描: X-Y扫描范围：3100mm ×100mm；定位精度：2nm

4.样品要求：

固体样品，做划痕测试的样品上下表面平整。