

1. 主要功能及应用范围:
Nano Indenter G200 是一套完整的纳米力学显微探针系统,功能包括纳米压痕、纳米划痕、摩擦磨损(mN-mN量级)及纳米力学显微镜等。整个测试流程高度自动化,数据可靠性和重复性好。
主要用于测定薄膜材料、块体材料、微纳米颗粒等材料的压入硬度和弹性模量、塑性参数、断裂参数、粘弹性、蠕变、划入变形、薄膜材料与基材的附着力、摩擦系数、磨损率、试样表面的粗糙程度等。
2. 主要部件:
中央控制器,CSM中央控制器,XP装置模块,DCM装置模块,样品载台,减震台,光学系统,压针等。
3.主要技术指标:
1)载荷范围:
XP模块最大载荷:500mN; DCM模块载荷载荷:10mN;
加载模式 :电磁力; 载荷分辨率 :50nN/10nN。
2)位移能力:
位移测量方式 :电容位移传感器; 位移分辨率<0 .01nm;
压头总位移范围; 1.5mm; 最大压痕深度>500um。
3)样品台:
XP载台:有效使用面积:100mm×100mm; 定位精度:< 1um;
Nano vision载台:定位精度:2nm。
4)成像系统:
光学显微镜:放大倍率:250(10×)倍和1000(40×)倍
Nano vision原位扫描: X-Y扫描范围:³100mm ×100mm;定位精度:2nm
4.样品要求:
固体样品,做划痕测试的样品上下表面平整。